DQRF-3-13.56 射频电源
半导体射频电源是专为半导体与泛半导体领域、医疗设备以及工业领域等应用而设计的高频电源设备。其本质是等离子体配套电源,在低压或常压下产生等离子体,并利用等离子体不同的化学性能,广泛应用于半导体工艺设备(PVD、PECVD、刻蚀、离子注入清洗)、LED、光伏、医疗等领域。
DQRF-3-13.56产品为全固态半导体射频电源,采用新型功率半导体器件,具有稳定可靠的功率放大器和功率合成技术。工作频率为13.56MHz,额定功率为3KW,主要应用包括射频溅射,离子刻蚀,射频偏置,等离子体表面处理和电感耦合等离子体系统等。
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