Ⓞ 触控显示屏控制，操作方便直观；
Ⓞ 采用高效能源转换技术，提供可靠的高功率输出；
Ⓞ 电路系统设计和控制策略优化，具有稳定可靠的工作特性；
Ⓞ 集成智能保护机制，保障设备和系统的安全运行；
Ⓞ 采用模块化设计，简化设备维护流程；
Ⓞ 实时检测设备运行数据，确保系统正常运行并延长使用寿命；
Ⓞ 适应不同场景下的需求变化，提供定制化的解决方案。
产品特点：
中的热损耗。这不仅有助于保持设备的低温运行，延长设备的使用寿命,还能减少因热损耗而产生的能源浪费。
产品参数：
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输入 |
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输入电压 |
AC 220V |
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输入频率 |
50Hz |
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输出 |
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输出频率 |
13.56MHz |
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输出功率 |
10W~3kW |
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输出功率调节范围 |
1~100% |
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输出阻抗 |
50Ω+j0 |
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输出接口 |
N型 |
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输出模式 |
连续 |
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性能指标 |
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功率因数 |
0.9 |
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频率稳定精度 |
±0.02% |
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效率 |
65% |
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谐波 |
(参考值<-45dBc) |
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杂散 |
(参考值<-50dBc) |
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外部控制接口 |
模拟量、通讯 |
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通信方式 |
标配：RS485通讯接口；匹配器CAN |
DQRF-3-13.56 射频电源
半导体射频电源是专为半导体与泛半导体领域、医疗设备以及工业领域等应用而设计的高频电源设备。其本质是等离子体配套电源，在低压或常压下产生等离子体，并利用等离子体不同的化学性能，广泛应用于半导体工艺设备(PVD、PECVD、刻蚀、离子注入清洗)、LED、光伏、医疗等领域。
DQRF-3-13.56产品为全固态半导体射频电源，采用新型功率半导体器件，具有稳定可靠的功率放大器和功率合成技术。工作频率为13.56MHz，额定功率为3KW，主要应用包括射频溅射，离子刻蚀，射频偏置，等离子体表面处理和电感耦合等离子体系统等。
DQRF-3-13.56产品为全固态半导体射频电源，采用新型功率半导体器件，具有稳定可靠的功率放大器和功率合成技术。工作频率为13.56MHz，额定功率为3KW，主要应用包括射频溅射，离子刻蚀，射频偏置，等离子体表面处理和电感耦合等离子体系统等。
