DQRF-3-13.56半导体射频电源是专为半导体与泛半导体领域、医疗设备以及工业领域等应用而设计的高频电源设备。其本质是等离子体配套电源，在低压或常压下产生等离子体，并利用等离子体不同的化学性能，广泛应用于半导体工艺设备(PVD、PECVD、刻蚀、离子注入清洗)、LED、光伏、医疗等领域。
