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多晶硅还原炉电气系统
多晶硅还原电源系统是西门子法生产多晶硅中还原三氯氢硅的核心电源系统,整个电源系统由PLC控制柜、还原功率柜、还原变压器、上位机和DCS组成,通过通讯网络对局部或整个车间还原电气进行集中控制,完成硅芯高压启动还原生长的全过程。
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